爱恩邦德CVD涂层炉生产过程中常见报警

扛着犁耙闯天下

爱恩邦德涂层炉整体上来说性能还算比较优越且稳定，操作系统上来说也不会很复杂，且操作界面也有中文和英文版，也很人性。
用了这么多年也发现有些不足之处，比如比例阀问题，经常会有抖动，感觉PLC参数设定有一定的问题，还有反应室法兰面底部空间太过拥挤狭小，不方便维护，同时加热炉采用插针式会存在接触不良的风险，相比老式的还是直接接线更稳妥，当然也还有些其他。这里不再一一细说。
本次主要说下生产过程中常见的故障。
1.冷却水。常因流量变化引起报警暂停。
2.阀门。体现为会出现气管破裂、接头失效气管蹦出、卡死、关不到位、开关慢反应迟钝，这些都会导致生产过程不顺畅，在涂层中出现暂停。
3.流量。流量报警主要引起为流量计开关需要慢慢调整，且有时候流量会受供气压力影响。还有一个可能就是设定了斜率，导致设备报警。
4.温度。主要是反应室实际温度，偏高偏低都会暂停，且加热带温度也会导致报警暂停，所以生产过程中要特别注意。
5.压力。压力体现在当泵抽力不足时达不到引起报警，或者开关比例阀开关需要时间引起报警。
这几个是主要的，占据了报警次数中的80%，当然还有很多其他的哦